含有活性炭的活性炭过滤器-除AMC利器

活性炭是一种吸附材料,广泛用于从空气中去除 AMC。最常见的基于吸附的AMC过滤器都是使用活性炭的化学过滤器。其形式可以是活性炭床,炭颗粒彼此结合或结合于过滤器的纤维之间,即活性炭被负载到玻璃纤维或聚合物纤维或其他配置上。

酸性(MA)和碱性(MB)AMC是洁净室内常见的气态污染物。通过渍活性炭或离子交换纤维的化学吸附进行控制,以去除酸性或碱性的 AMC。如一种被纳人过滤滤材的阳离子物种能捕获酸性AMC;另一种阴离子物质锌铝蛇纹石(fraipontite)材料可同时吸收酸性和碱性的 AMCW,它是铝硅酸盐的一种,具有双重结构,其中一侧具有坚实的基本性质另一侧具有固体酸性,因而一个与锌铝蛇纹石浸渍的化学过滤器能同时吸附酸性和碱性的AMC。

可凝结AMC(MC)通常是高沸点的有机物质,能由活性炭有效地进行物理处理。掺杂物 AMC(MD)是一种能改变半导体电性能的物质,如硼酸、有机磷酸盐或砷酸盐。这些AMC 最好通过消除其来源,如使用颗粒物过滤器或其他原料来减少源散发,这类 AMC的检出限可能都太高3。

化学过滤器,特别是含有活性炭的活性炭过滤器,有时会释放出不受欢迎的颗粒物并在空气中传播。因此化学过滤器通常位于标准 HEPA 过滤器的上游。即使如此,在选择用于制造化学过滤器的材料时,如用于制造颗粒物过滤器的材料,也必须考虑到它们引人的污染物以及如何将其去除。

AMC对微电子制造的某些制程环节有很多致命的潜在危害,应尽量采取主动方式做好预防工作,例如尽量减少在生产中使用的化学物质的污染以及在洁净室和设备中尽量使用低挥发性的材料等。然而事实上,洁净室中不可避免地存在 AMC。多年的理论和实践证明,物理和化学吸附是低浓度气体污染物最为经济有效的去除方法,几乎可以去除所有的气体污染物,是一个安全可靠、成熟的化学过滤解决方案。一般来说，AMC 现在可以进行充分的测量和净化。AMC 的特性和控制在微环境中将变得非常重要